Resolución en los ejes X y Z | 0.02 μm |
Resolución en la punta de la sonda | 0.03 μm |
Camino de medición vertical (eje Z) | 225 mm |
Trayectoria de medición horizontal (eje X) | 225mm |
sistema de medición | Óptico, incremental y sin contacto en todos los ejes (X, Z, T) |
precisión | +/- (1.5 + L / 100) μm |
Fuerza máxima de medición | 10 – 150 mN |
velocidad de medición | 0.1 – 2 mm / seg (optimizado automáticamente) |
Radio de la punta de la sonda | 0,002 – 1 mm |
Pendiente medible | 78 ° hacia arriba, 87 ° hacia abajo |
Dimensión (W x D x H) | 950 x 380 x 725 mm |
peso | 150kg |